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英國MICHELL Pura高純氣露點變送器

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

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  • 英國MICHELL英國密析爾儀表集團成立于1974年,專注于全球高精度測量領域,具備超過35年的設計研發經驗以及相關測量和控制領域的很新技術。針對微水測量,相對濕度測量和露點測量,英國密析爾儀表公司為廣泛的工業運用領域設計和生產的濕度測量產品包括傳感器,濕度表以及完整的濕度測量系統;典型的行業包括:計量機構,壓縮空氣,電力,石化,天然氣,制藥和電子工業等。
品牌介紹
英國MICHELL
英國密析爾儀表集團成立于1974年,專注于全球高精度測量領域,具備超過35年的設計研發經驗以及相關測量和控制領域的很新技術。針對微水測量,相對濕度測量和露點測量,英國密析爾儀表公司為廣泛的工業運用領域設計和生產的濕度測量產品包括傳感器,濕度表以及完整的濕度測量系統;典型的行業包括:計量機構,壓縮空氣,電力,石化,天然氣,制藥和電子工業等。
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產品詳情

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。


英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產品簡介:

在很多超純氣應用,諸如半導體工業中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。


英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產品特點:

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)

測量穩定,重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設計緊湊小巧

顯示/報警單元可選



英國MICHELL Pura高純氣露點變送器技術參數:

傳感器

傳感器類型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓力

10-9 torr; 大到24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到28 V , 大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出對應范圍可由專用軟件調整調整量程從 1 ~ 80°C 

(標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態

標準輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障; 20mA=超上限; 4mA=超下限

機械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋光

氣路連接端口

Premium 或 OEM : ?" m VCR 接口
Pura Sensor : ?" m VCR 接口

安裝配置

Premium 或 OEM : 120.00mm氣路端口的端面密封

無需預留管路空隙;
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔

斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm;
Pura Sensor 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中。

尺寸

Premium 或 OEM : 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor : 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM : 450g
Pura Sensor : 180g

包裝

Pura: 雙層包裝惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 單層包裝
*有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

 


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